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定龙门直驱定位平台

速度不变性 1‰

沉复定位精度 ±1μm

软硬件节造规划全自研

提供定造化服务

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|  产品详情

技术指标

 数据

最大速度

500mm/s 

最大加快度 

1G

沉复定位精度

≤±1μm  

定位精度（赔偿后）

≤±1.5μm  

直线度

≤5μm 

垂直度

≤8μm 

光栅尺分辨率

0.1μm
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